中央研究院
搜尋
Close this search box.
訂閱電子報

burn-lin-06

上圖為波長 193 奈米光源所使用的曝光鏡頭模組，從示意圖可看到在透鏡組合之間加入了反射鏡。圖｜研之有物（資料來源｜Proceedings of the IEEE）

中央研究院
研之有物

© COPYRIGHT 2017-2023   中央研究院研之有物   research.sinica.edu.tw   

訂閱電子報

立即訂閱研之有物電子報，一起探索這世界