上圖為波長 193 奈米光源所使用的曝光鏡頭模組,從示意圖可看到在透鏡組合之間加入了反射鏡。圖|研之有物(資料來源|Proceedings of the IEEE)

發佈留言

發佈留言必須填寫的電子郵件地址不會公開。