微影機的鏡頭設計相當複雜,林本堅提到目前業界盡可能提升 sinθ 值到 0.93。圖中的 NA = n*sinθ = 0.9,空氣折射率 n 約為 1,故此鏡頭 sinθ 水準為 0.9。鏡頭模組實際使用時會立起來垂直地面(如下圖)。 圖|研之有物(資料來源|111 年中央研究院知識饗宴)

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