中央研究院
搜尋
Close this search box.
訂閱電子報

burn-lin-04

微影機的鏡頭設計相當複雜，林本堅提到目前業界盡可能提升 sinθ 值到 0.93。圖中的 NA = n*sinθ = 0.9，空氣折射率 n 約為 1，故此鏡頭 sinθ 水準為 0.9。鏡頭模組實際使用時會立起來垂直地面（如下圖）。 圖｜研之有物（資料來源｜111 年中央研究院知識饗宴）

中央研究院
研之有物

© COPYRIGHT 2017-2023   中央研究院研之有物   research.sinica.edu.tw   

訂閱電子報

立即訂閱研之有物電子報，一起探索這世界